PENGARUH DOPING SBCL3 TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS ZNO DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING

Abstract

Penelitian ini dilakukan untuk menghasil bahan baku pembuatan film tipis ZnO yang didoping Antimon (III) Klorida (SbCl3) sebagai bahan terbaik untuk didoping dengan ZnO. Film tipis ZnO doping SbCl3 telah berhasil disintesis dengan metode sol-gel spin coating dan proses pencampuran dengan teknik refluks. Bahan yang digunakan  zinc acetat dehydrate {Zn(CH3COO)2 2H2O}, Antimoni (III) Klorida sebagai pendoping dilarutkan oleh pelarut isopropanol dengan variasi konsentrasi doping yaitu 4%; 5% dan 6% lalu distabilkan dengan diethanolamine (DEA). Pembuatan film tipis ZnO:SbCl3 ini dilakukan diatas substrat kaca dengan metode spin coating. Hasil karakterisasi film tipis ZnO:SbCl3­ dengan XRD menunjukkan ukuran kristal masing-masing adalah 26 nm, 26 nm, 24 nm. Dan hasil karakterisasi SEM menunjukkan permukaan morfologi film tipis ZnO:SbCl3 adanya retakan pada saat pelapisan dan bulatan hitam pada konsentrasi 5%. Hasil karakterisasi UV-VIS memperlihatkan nilai transmitansi dengan semua doping pada cahaya yang diteruskan pada lapisan ZnO doping SbCl3 lebih banyak daripada diserap pada rentang 350-800 nm. Dan nilai absorbansi menurun tajam pada rentang 350-800 nm. Nilai celah pita energi meningkat pada konsentrasi 5% dan menurun pada konsentrasi 6% dengan nilai Eg yaitu 3,03 eV.