PENGARUH SUHU PRE-HEATING TERHADAP MIKROSTRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS ZnO DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING

Abstract

Telah berhasil dilakukan pembuatan film tipis ZnO dengan variasi suhu pre-heating (1500C, 1750C, 2000C, 2250C dan 2500C) dengan menggunakan metode sol-gel spin coating. Film tipis ZnO dikarakterisasi dengan XRD, SEM-EDS, UV-Vis, dan FTIR. Hasil karakterisasi XRD menunjukkan bahwa struktur kristal semua sampel berbentuk wurtzite hexagonal dengan ukuran kristal berturut-turut 23,8; 19,4; 23,4;  25,1 dan 25,2 nm. Analisis SEM menunjukkan distribusi partikel yang menutupi substrat tanpa crack dan hasil EDS mengonfirmasi keberadaan unsur-unsur Zn dan O. Hasil karakterisasi spektrofotometri UV-Vis semua sampel menunjukkan nilai absorbansi yang menurun tajam dan nilai transmitansi yang meningkat tajam pada rentang panjang gelombang 350-400 nm. Nilai transmitansi tertinggi pada daerah cahaya tampak yaitu 82,3% pada suhu pre-heating 2500C. Lebar celah pita energi berturut-turut 3,267; 3,259; 3,258; 3,257 dan 3,256 eV. Hasil karakterisasi FTIR menunjukkan terbentuknya ikatan Zn-O pada semua sampel berturut-turut pada bilangan gelombang 574,79 cm-1; 570,92 cm-1; 576,22 cm-1; 574,79 cm-1 dan 574,79 cm-1.